供应十槽全自动晶片清洗系统

十槽全自动晶片清洗系统
■ 国内首台6英寸、8英寸全自动RCA湿处理清洗设备
■ 自主开发全中文操作控制系统
■ 伺服驱动控制方式和圆弧插补驱动方式可降低传送时硅片与硅片之间的震动
■ 采用**的兆声波及CKD、SMC、三菱、OMRON、IWAKI、PILLAR、Fllowel
     等厂商的零部件
■ 采用日本**的电子冷热系统（大和电机），可**控制药液温度到±0.5-1℃
■ 控制加速度，可防止硅片破裂，缩短传送时间
■ 人性化的处理菜单，使操作更加便捷
■ 储存、管理历史数据，为清洗不同产品提供参考依据
■ 自由选择干燥方式，可根据不同要求，选择IPA-VP，S/D或者MARAGONI干燥方式
■ 可选择槽内加热或在线加热
■ 符合环保要求的药液自动补液系统设计
■ 药液自动补液系统可执行浓度控制/时间控制/处理量控制等模式